1．泄漏。氧气分析仪在初次启用前必须严格检漏。氧气分析仪只有在严密不漏的前提下才能获得准确的数据结果。任何连接点，焊点，阀门等处的不严密，将会导致空气中的氧反渗进入管道及氧分析仪内部，从而得出含氧量偏高的结果。

2．污染。在重新使用氧气分析仪时，首先须注意在连接氧分析仪的取样管路时是否漏入空气，并且必须认真将漏入氧气分析仪的空气吹除干净，尽量不使大量氧气通过氧气分析仪的传感器以延长传感器寿命。在管道系统净化过程中，为缩短净化时间，需要有一定的方法，一般使用高压放气及小流量吹除交替进行可迅速净化氧气分析仪管道。

3．管道材质的选择。氧气分析仪管道材质及表面粗糙度也将影响样气中氧含量的变化。一般不宜用塑料管，橡胶管等作为连接管路。氧气分析仪通常选用铜管或不锈钢管，对超微量分析（指＜0.1ppm）则必须用抛光过的不锈钢管。